医療デバイス市場はナノ（DNA・タンパク質・単分子）、マイクロ（細胞・オルガノイド・組織）、デバイス（インプラント・診断機器）の3つのスケールにまたがります。当社の加工能力はこれら3つすべてに対応しています。
オルガンオンチップ（OoC）
空気圧式クォークバルブ、蠕動ポンプ、薄型フレキシブル膜を持つ多層PDMSチップにより、肺・腸・腎臓・脳・肝臓・心臓などヒト臓器のマイクロ環境を模倣します。薬物探索と毒性試験に活用されます。SU-8マスターからのPDMSソフトリソグラフィにより、設計からチップまで3〜5日のターンアラウンドを実現します。PDMS蛍光が問題となる量産向けにはCOP射出成形版も対応します。
マイクロ電極アレイ（MEA）
細胞外神経信号の記録・刺激・薬物応答モニタリング向け平面型および3D MEA。ガラスまたはSi基板にリフトオフでパターニングしたPt・TiN電極アレイ。記録サイトの開口部を持つSU-8またはポリイミドパッシベーション。3Dプローブ挿入用のDRIEスルーホール。フレキシブル埋め込み型プローブ向け生体適合PIによるRDL。
DNA塩基配列フローセル
ナノポア塩基配列用NIL定義ナノポアアレイ（50nm以下）、または光学塩基配列用精密マイクロチャネルを持つガラスフローセル。光路に接着剤を使わない気密ガラス-ガラスまたはガラス-Si封止のための融着またはアノーディックボンディング。大型ガラス加工（500×600mm）により96穴または384穴アレイ形式を低コストで実現します。
LSPRバイオセンサー
NILとAuリフトオフで製造したガラス上の金ナノピラーまたはナノホールアレイを用いた局在表面プラズモン共鳴チップ。ナノ構造化金表面に抗体・アプタマー・核酸プローブを固定化し、癌バイオマーカー・病原体タンパク・核酸をラベルフリーで検出します。局所電場増強により平面Au SPRチップと比べて感度が10〜100倍向上します。
薬物送達マイクロデバイス
経皮薬物送達と間質液（ISF）サンプリング向けNiおよびPd-NiマイクロニードルアレイをLIGA電鋳で製造します。直径1µmの流体チャネルを持つ中空マイクロニードル。変動係数（CV）2%未満の単分散な薬物充填粒子のマイクロカプセル化向けドロップレットマイクロ流体チップ。インプラント接触用途向け生体適合Pd-Niグレード。
埋め込み型神経インターフェース
生体適合PIによるRDLとAu/Pt電極を使用した神経プローブと埋め込み型センサー。網膜インプラント・深部脳刺激装置向け埋め込み型光トランシーバのAuSn気密封止。電極パッシベーション向けISO 10993評価済みポリイミド。NDA保護対応 - 設計の初回技術討議から機密を守ります。
